Золотухин Денис Борисович

Список статей:

• Газо-металлическая электронно-пучковая плазма для осаждения оксидных покрытий в форвакуумной области давлений
• Генерация ионов магния в пучковой плазме форвакуумного электронного источника
• Ионно-плазменное травление, инициированное электронным пучком
• Моделирование методом Монте-Карло упругого и неупругого рассеяния электронного пучка в газе
• Новые возможности применения форвакуумных плазменных источников в технологических процессах электронно-лучевой обработки диэлектрических материалов
• Опыт разработки и применения форвакуумных плазменных электронных источников
• Особенности генерации пучковой плазмы в изолированной металлической полости в форвакуумной области давлений
• Параметры плазмы, создаваемой электронным пучком в форвакууме
• Синтез диэлектрической пленки на поверхности кремния в плазме несамостоятельного тлеющего разряда с полым катодом
• Четырехкоординатный манипулятор для установки электронно-лучевой сварки
• Электронно-лучевая пушка с термокатодом для сварочной установки