Синтез диэлектрической пленки на поверхности кремния в плазме несамостоятельного тлеющего разряда с полым катодом

Авторы: Бурачевский Ю. А., Золотухин Д. Б.

Аннотация: Приведены результаты по синтезу диэлектрической пленки на поверхности кремния в плазме, образованной несамостоятельным тлеющим разрядом с полым катодом, возбуждаемым в смеси азота и аргона при давлении 14–16 Па с помощью плазменного источника электронов. Плотность тока через азотируемый образец не превышала 0,6 мА/см2, а его температура –150 °С. На поверхности кремния формируются сплошные бездефектные пленки оксинитрида кремния со скоростью роста 65–67 нм/мин.

Ключевые слова: диэлектрические пленки, кремний, тлеющий разряд

Библиография статьи: Бурачевский Ю. А. Синтез диэлектрической пленки на поверхности кремния в плазме несамостоятельного тлеющего разряда с полым катодом / Ю. А. Бурачевский, Д. Б. Золотухин // Доклады ТУСУР. – 2012. – № 1(25). – Ч. 1. – С. 40–46.