Газо-металлическая электронно-пучковая плазма для осаждения оксидных покрытий в форвакуумной области давлений

Авторы: Золотухин Д. Б., Бурдовицин В. А., Окс Е. М., Тюньков А. В., Юшков Ю. Г., Браун Я. Г.

Аннотация: Статья описывает эксперимент по осаждению оксидных покрытий на кремниевые или металлические образцы из газо-металлической плазмы. Такая плазма генерировалась при электронно-лучевом испарении металлов (Mg, Al) с одновременной ионизацией газа (кислород) и частиц испаренного вещества в форвакуумном диапазоне давлений (1–10 Па). Исследованы: ионный состав плазмы, доля газовой и металлической ионной компоненты (с использованием квадрупольного масс-спектрометра), толщина и поверхностное сопротивление покрытий.

Ключевые слова: форвакуум, электронный источник с плазменным катодом, осаждение покрытий

Библиография статьи: Золотухин Д. Б. Газо-металлическая электронно-пучковая плазма для осаждения оксидных покрытий в форвакуумной области давлений / Д. Б. Золотухин [и др.] // Доклады ТУСУР. – 2016. – Т. 19, № 4. – С. 10–12. DOI: 10.21293/1818-0442-2016-19-4-10-12