Технология синтеза и свойства пористых оксидных пленок

Авторы: Сахаров Ю. В., Троян П. Е., Жидик Ю. С.

Аннотация: Предложен физический метод получения пористых оксидных пленок в вакуумных условиях. Исследованы структура и свойства пористых пленок, полученных в результате самоорганизации при магнетронном распылении составной мишени. Установлены корреляции количества и размера пор, структуры и свойств пористых пленок. Показано, что процесс самоорганизации, приводящий к формированию пространственно распределенных пор, изменяет электрофизические свойства диэлектрических пленок и расширяет их функциональное назначение.

Ключевые слова: пористые пленки, диоксид кремния, пентаоксид тантала, углерод

Библиография статьи: Сахаров Ю. В. Технология синтеза и свойства пористых оксидных пленок / Ю. В. Сахаров, П. Е. Троян, Ю. С. Жидик // Доклады ТУСУР. – 2015. – № 4(38). – С. 72–75.