Электрическая формовка и пробой тонкопленочных структур металл–диэлектрик–металл

Скачать текст статьи в формате PDF

Авторы: Троян П. Е., Каранский В. В.

Аннотация: На основании анализа экспериментальных и расчетных данных по процессам пробоя и формовки тонкопленочных диэлектриков установлены общие закономерности физических процессов и различия возникновения пробоя и электрической формовки тонкопленочных диэлектриков в структуре металл–диэлектрик–металл.

Ключевые слова: электрическая формовка, пробой, мдм-структура, аморфный диэлектрик, эмиссия

Библиография статьи: Троян П. Е. Электрическая формовка и пробой тонкопленочных структур металл–диэлектрик–металл / П. Е. Троян, В. В. Каранский // Доклады ТУСУР. – 2017. – Т. 20, № 3. – С. 152–154. DOI: 10.21293/1818-0442-2017-20-3-152-154