Формирование медно-германиевого соединения низкотемпературной обработкой в потоке атомарного водорода

Авторы: Казимиров А. И., Ерофеев Е. В., Кагадей В. А.

Аннотация: Исследовано поведение двухслойной тонкопленочной системы Cu/Ge, осажденной на под-ложку i-GaAs, при ее обработке в атомарном водороде. Установлено, что обработка образцов в потоке атомарного водорода с плотностью потока 10^15 ат. см2 с-1 при комнатной температу¬ре приводит к твердотельной взаимной диффузии тонких пленок Cu и Ge и образованию по¬ликристаллического соединения CuGe с вертикально ориентированными зернами.

Ключевые слова: тонкие пленки, медно-германиевое соединение, атомарный водород, диффузия, слоевое сопротивление

Библиография статьи: Казимиров А. И. Формирование медно-германиевого соединения низкотемпературной обработкой в потоке атомарного водорода / А. И. Казимиров, Е. В. Ерофеев, В. А. Кагадей // Доклады ТУСУР. – 2011. – № 2(24). – Ч. 2. – С. 68–72.