СВЧ-зонды для измерения характеристик планарных элементов интегральных схем

Аннотация: Представлены результаты разработки СВЧ-зондов, предназначенных для измерения планарных элементов интегральных схем: конструкция, расчетные и экспериментальные частотные характеристики в диапазоне до 12 ГГц. Рассмотрено перспективное решение построения зонда в диапазоне до 30 ГГц.

Ключевые слова: зонд, свч, измерения, зондовая станция, планарный элемент

Библиография статьи: Ладур А. А. СВЧ-зонды для измерения характеристик планарных элементов интегральных схем / А. А. Ладур // Доклады ТУСУР. – 2010. – № 2(22). – Ч. 1. – С. 178–179.