Датчик газообразных углеводородов на основе пористой пленки SiO 2 +C нанометровой толщины

Скачать текст статьи в формате PDF

Авторы: Усов С. П., Троян П. Е., Сахаров Ю. В.

Аннотация: Рассмотрены газочувствительные свойства пористого диоксида кремния, полученного методом магнетронного распыления составной мишени кремний–углерод.

Ключевые слова: углерод, пористые пленки, диоксид кремния, чувствительный элемент

Библиография статьи: Усов С. П. Датчик газообразных углеводородов на основе пористой пленки SiO 2 +C нанометровой толщины / С. П. Усов, П. Е. Троян, Ю. В. Сахаров // Доклады ТУСУР. – 2010. – № 2(22). – Ч. 1. – С. 187–190.