Получение структур CaF₂/Si(100) методом твердофазной эпитаксии

Аннотация: Проведено исследование влияния режимов ТФЭ на морфологию поверхности эпитаксиальных плёнок CaF₂ на поверхности Si(100) в условиях наличия микронеровностей на исходной поверхности подложек Z(Si) = 3 нм. Предложен метод многостадийной ТФЭ для получения максимально гладкой поверхности CaF₂. Сделано предположение, что твердофазная эпитаксия является наиболее приемлемым способом получения максимально гладких пленок в случае резкой анизотропии свободной поверхностной энергии в материалах подложки и пленки.

Ключевые слова: млэ, асм, фторид кальция, кремний, морфология поверхности, твёрдо- фазная эпитаксия