Генерация ионных пучков в вакуумном дуговом ионном источнике с двухкомпонентным катодом

Авторы: Фролова В. П., Прокопенко Н. А., Кизириди П. П.

Аннотация: Ионные источники находят широкое применение для пучковой модификации свойств различных поверхностей методом «металлургической» ионной имплантации. Использование в вакуумных дуговых источниках металлических ионов многокомпонентных катодов позволяет получать пучки сложного состава, что расширяет их технологические возможности. В работе представлены исследования параметров широкоапертурного ионного пучка, генерируемого в вакуумном дуговом ионном источнике с двухкомпонентным катодом из медно-хромового композита. Показано, что распределение зарядовых состояний ионов меди и хрома в пучке зависит от их соотношения в материале катода, а доли этих ионов в пучке соответствуют их атомарному содержанию в катоде.

Ключевые слова: вакуумный дуговой ионный источник, многокомпонентные ионные пучки, медно-хромовый композит

Библиография статьи: Фролова В. П. Генерация ионных пучков в вакуумном дуговом ионном источнике с двухкомпонентным катодом / В. П. Фролова, Н. А. Прокопенко, П. П. Кизириди // Доклады ТУСУР. – 2018. – Т. 21, № 4. – С. 119–122. DOI: 10.21293/1818-0442-2018-21-4-119-122