Особенности электронно-лучевого испарения керамики на основе оксида алюминия в форвакуумной области давлений

Аннотация: Представлено исследование процесса электронно-лучевого испарения и осаждения из паровой фазы керамических материалов в форвакуумной области давления. Для испарения алюмооксидной керамики на основе оксида алюминия использовался плазменный электронный источник, специально созданный для работы в форвакуумной области давлений. Определена зависимость толщины напыляемого покрытия от расстояния до испаряемой мишени и угла между осью электронного пучка и направлением на центр подложки. Показано, что в форвакуумной области давлений пространственное распределение толщины покрытий более равномерное по сравнению с напылением в высоком вакууме. Это обстоятельство может быть связано с рассеянием частиц испаренного вещества на молекулах газа при высоком давлении.

Ключевые слова: электронно-лучевое испарение, плазменный электронный источник, форвакуумная область давлений, зарядка поверхности диэлектрика

Библиография статьи: Климов А. С. Особенности электронно-лучевого испарения керамики на основе оксида алюминия в форвакуумной области давлений / А. С. Климов, А. А. Зенин // Доклады ТУСУР. – 2016. – Т. 19, № 4. – С. 20–22. DOI: 10.21293/1818-0442-2016-19-4-20-22