Влияние ионной имплантации на поверхностное сопротивление полимерных диэлектриков
Скачать текст статьи в формате PDF
Авторы: Пухова И. В.
Аннотация: Ионная имплантация является одним из наиболее эффективных и перспективных методов модифицирования поверхностных свойств материалов, в частности, удельного поверхностного сопротивления. В настоящей работе изучено влияние имплантации ионов серебра и углерода дозами 1·10 14 , 1·10 15 , 1·10 16 ион/см 2 на изменение поверхностного сопротивления политетрафторэтилена (ПТФЭ) и полилактида (ПЛ). Установлено, что имплантация ионов серебра с энергией 40 кэВ и углерода с энергией 20 кэВ приводит к снижению удельного поверхностного сопротивления полилактида на 3–5 порядков и политетрафторэтилена на 1 порядок величины.
Ключевые слова: ионная имплантация полимеров, удельное поверхностное сопротивление, политетрафторэтилен, полилактид
Библиография статьи: Пухова И. В. Влияние ионной имплантации на поверхностное сопротивление полимерных диэлектриков / И. В. Пухова // Доклады ТУСУР. – 2015. – № 4(38). – С. 79–82.