Исследование методов деэмбеддинга «Open», «Open-Short», «Open-Short-Thru» для зондовых измерений параметров рассеяния элементов СВЧ-монолитных интегральных схем

Аннотация: Приводятся описание и особенности процедуры деэмбеддинга при зондовых измерениях малосигнальных S-параметров элементов СВЧ-монолитных интегральных схем. Представлены математические выражения различных методов деэмбеддинга: «Open», «Open-Short» и «Open-Short-Thru». Проведено сравнение эффективности указанных методов на примере деэмбеддинга тонкопленочного резистора в диапазоне частот до 40 ГГц. Методы реализованы в программе анализа и обработки СВЧ-измерений DataViewer.

Ключевые слова: зондовые измерения, s-параметры, деэмбеддинг, «open», «open-short», «open-short-thru», характеризация, свч-монолитная интегральная схема

Библиография статьи: Добуш И. М. Исследование методов деэмбеддинга «Open», «Open-Short», «Open-Short-Thru» для зондовых измерений параметров рассеяния элементов СВЧ-монолитных интегральных схем / И. М. Добуш // Доклады ТУСУР. – 2014. – № 4(34). – С. 138–145.