Изготовление электрооптических модуляторов на основе InP для ВОЛС и проведение автоматизированного визуального контроля их поверхности на предмет наличия дефектов

Авторы: Шурыгин Ю. А., Ишуткин С. В., Ширяев Б. В., Жидик Ю. С.

Аннотация: Электрооптические модуляторы являются ключевыми элементами при построении волоконно-оптических линий связи. В работе представлены результаты разработки технологии изготовления электрооптических модуляторов Маха–Цендера на основе фосфида индия (InP). Разработанная технология была апробирована при изготовлении тестовых образцов электрооптических модуляторов с последующим проведением визуального контроля наличия дефектов на их поверхности в автоматизированном режиме с использованием разработанного и реализованного авторами алгоритма.

Ключевые слова: oптоэлектроника, электрооптический модулятор, фосфид индия, реактивное ионное травление, всв, pin-диод, визуальный контроль, детектирование дефектов

Библиография статьи: Шурыгин Ю. А. Изготовление электрооптических модуляторов на основе InP для ВОЛС и проведение автоматизированного визуального контроля их поверхности на предмет наличия дефектов / Ю. А. Шурыгин [и др.] // Доклады ТУСУР. – 2022. – Т. 25, № 3. – С. 21–27. DOI: 10.21293/1818-0442-2022-25-3-21-27