Ионно-плазменные методы получения наноструктур

Скачать текст статьи в формате PDF

Авторы: Данилина Т. И., Троян П. Е., Сахаров Ю. В., Жидик Ю. С.

Аннотация: Приведены современные результаты деятельности и научно-технические разработки научной школы ТУСУРа, связанной с методами получения наноструктур по технологии ионно-плазменного осаждения и зародившейся под руководством Г.А. Воробьева в 1970 г. Приводятся результаты о выполненных исследованиях в этой области, а также сведения об их внедрении в производство изделий микроэлектроники в виде нанослоев различного назначения.

Ключевые слова: резистивные и проводящие наноструктуры, диэлектрические, пеннинговская распылительная система, магнетронная распылительная система, ионно-плазменное распыление

Библиография статьи: Данилина Т. И. Ионно-плазменные методы получения наноструктур / Т. И. Данилина [и др.] // Доклады ТУСУР. – 2017. – Т. 20, № 3. – С. 40–45. DOI: 10.21293/1818-0442-2017-20-3-40-45

Масленников Виктор Николаевич

Ответственный секретарь редакции журнала

  634050, г. Томск, пр. Ленина, 40, МК, каб. 310/2

  (3822) 51-21-21, внутр.: 1460

  vnmas@tusur.ru