Исследование механизмов электропроводности пленок оксида индия, легированного оловом

Аннотация: Приводятся данные по изучению механизмов электропроводности полупроводниковых пленок ITO, напыленных методом реактивного магнетронного распыления на стеклянные подложки с последующим высокотемпературным отжигом и без него. Установлено, что высокотемпературный отжиг пленок ITO сразу же после напыления способствует увеличению электропроводности за счет повышения кристалличности пленки и полной активации легирующей примеси. Оба эффекта приводят к снижению удельного поверхностного сопротивления более чем в 20 раз. Установлено, что в пленках ITO в интервале низких температур доминирующим является механизм проводимости Мотта.

Ключевые слова: tco, ito, электропроводность, энергия активации, электропроводность мотта