Исследование формирователя биполярных импульсов для питания магнетронных распылительных систем

Авторы: Оскирко В. О., Семенов В. Д., Павлов А. П.

Аннотация: Описан алгоритм управления транзисторами формирователя ассиметричных биполярных импульсов повышенной частоты для питания магнетронных распылительных систем (МРС), обеспечивающий регулировку частоты и длительности импульсов и предотвращающий переход схемы в небезопасный режим работы. Экспериментально показано, что источник питания (ИП) на основе формирователя асимметричных импульсов повышенной частоты (ФБИ) позволяет повысить стабильность и скорость процессов реактивного магнетронного напыления покрытий сложного химического состава.

Ключевые слова: реактивное магнетронное распыление, биполярный источник питания

Библиография статьи: Оскирко В. О. Исследование формирователя биполярных импульсов для питания магнетронных распылительных систем / В. О. Оскирко, В. Д. Семенов, А. П. Павлов // Доклады ТУСУР. – 2015. – № 3(37). – С. 39–45.