Линейная обработка верификационных измерений векторного анализатора цепей в составе зондовой станции

Аннотация: Предложен алгоритм верификации векторных анализаторов цепей, выполняющих измерения параметров устройств на полупроводниковой пластине. Основой алгоритма являются специальная модель прибора во временной области и интерполяция частотных характеристик рядом Котельникова. Выполнено экспериментальное исследование алгоритма в диапазоне частот до 110 ГГц.

Ключевые слова: векторный анализатор цепей, s-параметры, калибровка, зондовая станция, полупроводниковая пластина, верификация, систематическая погрешность

Библиография статьи: Савин А. А. Линейная обработка верификационных измерений векторного анализатора цепей в составе зондовой станции / А. А. Савин // Доклады ТУСУР. – 2014. – № 3(33). – С. 53–57.