Технология получения электропроводящих пленок ITO высокой оптической прозрачности с низким значением величины удельного поверхностного сопротивления

Аннотация: Разработан способ получения прозрачных электропроводящих пленок ITO, предназначенных для использования в светодиодах, а также в качестве омических контактов к солнечным элементам. При установленном технологическом режиме напыления и отжига удельное поверхностное сопротивление полученных оксидных пленок составило 50 Ом/□ , а их коэффициент прозрачности около 90% при толщине пленок 250 нм. Найденные условия получения пленок отмечены низким воздействием теплового удара как на пленку, так и на подложку, что предотвращает их растрескивание.

Ключевые слова: ito (indium tin oxide), магнетронное распыление, термический отжиг, удельное поверхностное сопротивление, оптическая прозрачность

Библиография статьи:
Жидик Ю. С. Технология получения электропроводящих пленок ITO высокой оптической прозрачности с низким значением величины удельного поверхностного сопротивления / Ю. С. Жидик, П. Е. Троян // Доклады Томского государственного университета систем управления и радиоэлектроники. – 2012. – № 2(26). – Ч. 2. – С. 169–171.