Построение параметрических моделей пассивных компонентов СВЧ монолитных интегральных схем с использованием программы Extraction-P

Аннотация: Представлена методика построения параметрических моделей (ПМ) пассивных компонентов СВЧ монолитных интегральных схем (МИС) в виде эквивалентных схем (ЭС). С использованием программы экстракции параметров ЭС Extraction-P разработаны ПМ полупроводникового GaAs-резистора, МДМ-конденсатора и спиральной катушки индуктивности, изготовленных по технологии PL15-10 компании WIN Semiconductors. Модели интегрированы в программные системы, осуществляющие моделирование и автоматизированный синтез СВЧ МИС.

Ключевые слова: свч монолитные интегральные схемы, пассивные компоненты, эквивалентная схема, экстракция, параметрическая модель