Моделирование процессов осаждения на сложные профили

Авторы: Данилина Т. И., Скотников Н. В.

Аннотация: Работа посвящена моделированию осаждения нанослоев для пассивации Т-образного затвора. Рассмотрены основные модели осаждения TCAD и их возможность использования для заращивания сложных профилей. Проанализирован математический аппарат технологического моделирования, а именно модель струны и метод Монте-Карло. Представлены результаты моделирования пассивации Т-образного затвора методом Монте-Карло при различных температурах и даны рекомендации для практической реализации данной операции.

Ключевые слова: т-образный затвор, tcad, метод монте-карло, осаждение нанослоёв

Библиография статьи: Данилина Т. И. Моделирование процессов осаждения на сложные профили / Т. И. Данилина, Н. В. Скотников // Доклады ТУСУР. – 2012. – № 2(26). – Ч. 2. – С. 179–181.