Голографическая система измерений наноперемещений микро- и макрообъектов

Аннотация: Разработана система для измерения наномасштабных перемещений микро- и макрообъектов на основе адаптивного голографического интерферометра. Измерительная система на основе адаптивного интерферометра позволяет осуществлять устойчивую регистрацию и измерение перемещений микро- и макрообъектов в диапазоне от 0,5 до 266 нм на различных скоростях.

Ключевые слова: адаптивный голографический интерферометр, нанометрология, фоторефрактивный кристалл, динамическая голограмма, наномасштабные перемещения

Библиография статьи:
Ромашко Р. В. Голографическая система измерений наноперемещений микро- и макрообъектов / Р. В. Ромашко, Т. А. Ефимов, М. А. Асалханова // Доклады Томского государственного университета систем управления и радиоэлектроники. – 2012. – № 2(26). – Ч. 2. – С. 67–70.