Голографическая система измерений наноперемещений микро- и макрообъектов

Скачать текст статьи в формате PDF

Авторы: Ромашко Р. В., Ефимов Т. А., Асалханова М. А.

Аннотация: Разработана система для измерения наномасштабных перемещений микро- и макрообъектов на основе адаптивного голографического интерферометра. Измерительная система на основе адаптивного интерферометра позволяет осуществлять устойчивую регистрацию и измерение перемещений микро- и макрообъектов в диапазоне от 0,5 до 266 нм на различных скоростях.

Ключевые слова: адаптивный голографический интерферометр, нанометрология, фоторефрактивный кристалл, динамическая голограмма, наномасштабные перемещения

Библиография статьи: Ромашко Р. В. Голографическая система измерений наноперемещений микро- и макрообъектов / Р. В. Ромашко, Т. А. Ефимов, М. А. Асалханова // Доклады ТУСУР. – 2012. – № 2(26). – Ч. 2. – С. 67–70.

Масленников Виктор Николаевич

Ответственный секретарь редакции журнала

  634050, г. Томск, пр. Ленина, 40, МК, каб. 310/2

  (3822) 51-21-21, внутр.: 1460

  vnmas@tusur.ru