Журнал «Доклады Томского государственного университета систем управления и радиоэлектроники» / Архив / Выпуск журнала № 2, 2 часть [24] за 2011 год / Исследование пористых пленок диоксида кремния

Исследование пористых пленок диоксида кремния

Скачать текст статьи в формате PDF

Аннотация
Авторы и правообладатели

Аннотация: Исследованы электрофизические свойства пористых пленок диоксида кремния, полученных магнетронным распылением составной мишени.

Ключевые слова: диоксид кремния, углерод, модифицированный углеродом диоксид кремния, магнетрон

Авторы и правообладатели:

Сахаров Ю. В.
Троян П. Е.

—

Библиография статьи:
Сахаров Ю. В. Исследование пористых пленок диоксида кремния / Ю. В. Сахаров, П. Е. Троян // Доклады Томского государственного университета систем управления и радиоэлектроники. – 2011. – № 2(24). – Ч. 2. – С. 77–80.

Рукописи статей направлять на адрес редакции: journal@tusur.ru

Последний выпуск

Доклады ТУСУР – выпуск № 4, т. 28 2025г.

Доклады ТУСУР
№ 4, т. 28, 2025

Адрес редакции

634050, г. Томск, пр. Ленина, 40, МК, каб. 310/2

(3822) 701-582, внутр.: 1456

journal@tusur.ru

Подписка на обновления

Оформить подписку на получение обновлений журнала