Исследование пористых пленок диоксида кремния

Скачать текст статьи в формате PDF

Авторы: Сахаров Ю. В., Троян П. Е.

Аннотация: Исследованы электрофизические свойства пористых пленок диоксида кремния, полученных магнетронным распылением составной мишени.

Ключевые слова: диоксид кремния, углерод, модифицированный углеродом диоксид кремния, магнетрон

Библиография статьи: Сахаров Ю. В. Исследование пористых пленок диоксида кремния / Ю. В. Сахаров, П. Е. Троян // Доклады ТУСУР. – 2011. – № 2(24). – Ч. 2. – С. 77–80.