Тлеющий разряд с неоднородным полым катодом для форвакуумных плазменных источников электронов

Авторы: Климов А. С., Бурачевский Ю. А., Жирков И. С.

Аннотация: Представлены результаты исследования параметров плазмы в разряде с неоднородным протяженным полым катодом, используемом в плазменном источнике ленточного электронного пучка, функционирующего в форвакуумном диапазоне давлений. В поперечном сечении неоднородный полый катод представлял собой комбинацию двух прямоугольных секций разной ширины. Показано, что использование такой конфигурации катодной полости приводит к росту концентрации плазмы на оси системы. Предложена модель, описывающая процессы ионизации и токопереноса, происходящие в исследуемой разрядной системе.

Ключевые слова: разряд с полым катодом, форвакуум, электронный пучок, электронный источник

Библиография статьи: Климов А. С. Тлеющий разряд с неоднородным полым катодом для форвакуумных плазменных источников электронов / А. С. Климов, Ю. А. Бурачевский, И. С. Жирков // Доклады ТУСУР. – 2008. – № 2(18). – Ч. 2. – С. 53–58.