Время задержки сигнала в сверхбольших интегральных схемах

Скачать текст статьи в формате PDF

Авторы: Данилина Т. И., Чистоедова И. А., Заречнев А. Д.

Аннотация: Предложена методика расчета времени задержки сигнала, позволяющая на основе результатов моделирования сопротивления, емкости и индуктивности металлизации в среде COMSOL Multiphysics прогнозировать величину задержки сигнала с учетом паразитных составляющих индуктивности и емкости металлизации. Установлено, что при уменьшении топологической нормы сверхбольших интегральных схем от 90 до 7 нм вклад индук- тивной составляющей можно не учитывать.

Ключевые слова: comsol, модель, время задержки, металлизация сбис

Библиография статьи: Данилина Т. И. Время задержки сигнала в сверхбольших интегральных схемах / Т. И. Данилина, И. А. Чистоедова, А. Д. Заречнев // Доклады ТУСУР. – 2019. – Т. 22, № 1. – С. 20–24. DOI: 10.21293/1818-0442-2019-22-1-20-24

Масленников Виктор Николаевич

Ответственный секретарь редакции журнала

  634050, г. Томск, пр. Ленина, 40, МК, каб. 310/2

  (3822) 51-21-21, внутр.: 1460

  vnmas@tusur.ru