Время задержки сигнала в сверхбольших интегральных схемах

Авторы: Данилина Т. И., Чистоедова И. А., Заречнев А. Д.

Аннотация: Предложена методика расчета времени задержки сигнала, позволяющая на основе результатов моделирования сопротивления, емкости и индуктивности металлизации в среде COMSOL Multiphysics прогнозировать величину задержки сигнала с учетом паразитных составляющих индуктивности и емкости металлизации. Установлено, что при уменьшении топологической нормы сверхбольших интегральных схем от 90 до 7 нм вклад индук- тивной составляющей можно не учитывать.

Ключевые слова: металлизация сбис, время задержки, модель, comsol

Библиография статьи: Данилина Т. И. Время задержки сигнала в сверхбольших интегральных схемах / Т. И. Данилина, И. А. Чистоедова, А. Д. Заречнев // Доклады ТУСУР. – 2019. – Т. 22, № 1. – С. 20–24. DOI: 10.21293/1818-0442-2019-22-1-20-24