Прозрачные электропроводящие покрытия с контролируемыми значениями коэффициента пропускания и поверхностного сопротивления

Аннотация: Разработана технология нанесения пленок ITO с контролируемыми значениями удельного поверхностного сопротивления от 10–20 Ом/□ до 2–4 МОм/□ и коэффициента пропускания излучения в видимом диапазоне от 5 до 90%. При этом полученное минимальное значение поверхностного сопротивления соответствует мировому уровню. Рассмотрены возможности применения таких покрытий.

Ключевые слова: ito (indium tin oxide), магнетронное распыление, термический отжиг, про- зрачный электрод, прозрачный обогревающий элемент, защитное покрытие