Прозрачные электропроводящие покрытия с контролируемыми значениями коэффициента пропускания и поверхностного сопротивления

Авторы: Троян П. Е., Сахаров Ю. В., Жидик Ю. С.

Аннотация: Разработана технология нанесения пленок ITO с контролируемыми значениями удельного поверхностного сопротивления от 10–20 Ом/□ до 2–4 МОм/□ и коэффициента пропускания излучения в видимом диапазоне от 5 до 90%. При этом полученное минимальное значение поверхностного сопротивления соответствует мировому уровню. Рассмотрены возможности применения таких покрытий.

Ключевые слова: ito (indium tin oxide), магнетронное распыление, термический отжиг, про- зрачный электрод, прозрачный обогревающий элемент, защитное покрытие

Библиография статьи: Троян П. Е. Прозрачные электропроводящие покрытия с контролируемыми значениями коэффициента пропускания и поверхностного сопротивления / П. Е. Троян, Ю. В. Сахаров, Ю. С. Жидик // Доклады ТУСУР. – 2014. – № 1(31). – С. 99–102.