Масс-зарядовый состав плазмы, генерируемой в разрядной системе с инжекцией электронов и дополнительным распыляемым электродом

Скачать текст статьи в формате PDF

Авторы: Тюньков А. В., Юшков Ю. Г.

Аннотация: На основе времяпролетной методики проведены исследования масс-зарядового состава плазмы, генерируемой разрядной системой с инжекцией электронов и дополнительным распыляемым электродом. Такая электродная конфигурация разрядного устройства обеспечивает возможность создания композиционных покрытий различного функционального назначения. Показано, что доля ионов металла в объемной плазме не превышает единиц процентов.

Ключевые слова: разряд низкого давления, инжекция электронов, распыляемый электрод, времяпролетный масс-спектрометр, масс-зарядовый состав плазмы

Библиография статьи: Тюньков А. В. Масс-зарядовый состав плазмы, генерируемой в разрядной системе с инжекцией электронов и дополнительным распыляемым электродом / А. В. Тюньков, Ю. Г. Юшков // Доклады ТУСУР. – 2013. – № 1(27). – С. 5–9.

Адрес редакции

  634050, г. Томск, пр. Ленина, 40, МК, каб. 310/2

  (3822) 701-582, внутр.: 1456

  journal@tusur.ru

 

Масленников Виктор Николаевич

Ответственный секретарь редакции журнала

  634050, г. Томск, пр. Ленина, 40, МК, каб. 310/2

  (3822) 51-21-21, внутр.: 1460

  vnmas@tusur.ru