Масс-зарядовый состав плазмы, генерируемой в разрядной системе с инжекцией электронов и дополнительным распыляемым электродом

Аннотация: На основе времяпролетной методики проведены исследования масс-зарядового состава плазмы, генерируемой разрядной системой с инжекцией электронов и дополнительным распыляемым электродом. Такая электродная конфигурация разрядного устройства обеспечивает возможность создания композиционных покрытий различного функционального назначения. Показано, что доля ионов металла в объемной плазме не превышает единиц процентов.

Ключевые слова: разряд низкого давления, инжекция электронов, распыляемый электрод, времяпролетный масс-спектрометр, масс-зарядовый состав плазмы

Библиография статьи:
Тюньков А. В. Масс-зарядовый состав плазмы, генерируемой в разрядной системе с инжекцией электронов и дополнительным распыляемым электродом / А. В. Тюньков, Ю. Г. Юшков // Доклады Томского государственного университета систем управления и радиоэлектроники. – 2013. – № 1(27). – С. 5–9.