Электронно-лучевая пайка алюмооксидной керамики с металлом с применением форвакуумного плазменного источника электронов

Аннотация: Представлены результаты исследований, направленных на создание механически прочных и вакуумно-плотных соединений алюмооксидной керамики с титаном посредством электроннолучевой пайки. Компенсация зарядки электронным пучком поверхности электрически непроводящей керамики обеспечивалась применением для этих целей форвакуумного плазменного источника электронов. В качестве связующей прослойки использован алюминий.

Ключевые слова: электронно-лучевая пайка, форвакуум, плазменный электронный источник, диэлектрики, металлокерамические соединения

Библиография статьи:
Зенин А. А. Электронно-лучевая пайка алюмооксидной керамики с металлом с применением форвакуумного плазменного источника электронов / А. А. Зенин, А. С. Климов // Доклады Томского государственного университета систем управления и радиоэлектроники. – 2013. – № 1(27). – С. 10–13.