Формирование функциональных оксидных композиционных покрытий на основе разрядной системы с инжекцией электронов

Авторы: Визирь А. В., Савкин К. П., Тюньков А. В., Шандриков М. В., Юшков Г. Ю.

Аннотация: Показана принципиальная возможность синтеза оксидных функциональных композиционных покрытий на основе использования разрядной системы с инжекцией электронов и секционированным распыляемым электродом. Такой подход обладает рядом принципиальных преимуществ по сравнению с традиционно применяемыми для этих целей магнетронными и вакуумно-дуговыми распылителями. С использованием структур Ti-Zn-O получены покрытия, обладающие существенными гидрофобными свойствами. Покрытие ZnO:Al, при сохранении оптической прозрачности, обеспечивает заметную электропроводимость.

Ключевые слова: генератор газометаллической плазмы, секционированный распыляемый электрод, инжекция электронов, функциональные покрытия

Библиография статьи: Визирь А. В. Формирование функциональных оксидных композиционных покрытий на основе разрядной системы с инжекцией электронов / А. В. Визирь [и др.] // Доклады ТУСУР. – 2011. – № 1(23). – С. 83–88.