Исследование структуры поверхности подложек ГИС СВЧ из алюмооксидной керамики после электронной и лазерной обработки

Скачать текст статьи в формате PDF

Авторы: Саврук Е. В., Смирнов С. В.

Аннотация: Приведены результаты исследований по влиянию структуры и фазового состава поверхности подложек на свойства ГИС СВЧ из алюмооксидной керамики после электронной и лазерной обработки.

Ключевые слова: алюмооксидная керамика, лазерная обработка, электронная обработка, микротвердость, коэффициент вязкости разрушения

Библиография статьи: Саврук Е. В. Исследование структуры поверхности подложек ГИС СВЧ из алюмооксидной керамики после электронной и лазерной обработки / Е. В. Саврук, С. В. Смирнов // Доклады ТУСУР. – 2010. – № 1(21). – Ч. 2. – С. 123–127.