Распределение концентрации плазмы в разряде с протяженным полым катодом форвакуумного плазменного источника электронного пучка

Аннотация: Представлены результаты исследования распределения концентрации плазмы в разряде с полым катодом форвакуумного источника ленточного электронного пучка. Исследования проводились в диапазоне давлений, соответствующих форвакууму (10–30 Па). Показано, что изменение геометрии катодной полости, давления и величины разрядного тока в разной степени влияет на характер распределения концентрации плазмы вблизи эмиссионной границы. Формирование однородного распределения возможно при использовании относительно широкой и глубокой катодной полости. Уменьшение глубины катодной полости приводит к появлению максимумов концентрации плазмы вблизи краев полости. На основе экспериментальных данных предложена качественная модель, описывающая физические процессы образования и гибели частиц в исследуемом разряде с протяженным полым катодом.

Ключевые слова: плазменный электронный источник, тлеющий разряд, распределение концентрации, форвакуумная область давлений

Библиография статьи: Климов А. С. Распределение концентрации плазмы в разряде с протяженным полым катодом форвакуумного плазменного источника электронного пучка / А. С. Климов, С. А. Останин // Доклады ТУСУР. – 2017. – Т. 20, № 4. – С. 26–29. DOI: 10.21293/1818-0442-2017-20-4-26-29