Алгоритм автоматизированного визуального контроля монолитных интегральных схем с использованием искусственных нейронных сетей

Авторы: Ширяев Б. В., Ющенко А. Ю., Безрук А. В.

Аннотация: Работа посвящена проблеме визуального контроля при производстве СВЧ МИС. Рассматривается подход к автоматическому визуальному контролю с использованием искусственных нейронных сетей. Нейронная сеть производит одновременный анализ микрофотографии СВЧ МИС, полученной в автоматическом режиме, и чертежа её фотошаблона, получает информацию о степени дефектности изготовленной СВЧ МИС. Таким образом, повышается скорость визуального контроля СВЧ МИС без потери качества детектирования дефектов.

Ключевые слова: автоматизация, свч мис, свёрточные нейронные сети

Библиография статьи: Ширяев Б. В. Алгоритм автоматизированного визуального контроля монолитных интегральных схем с использованием искусственных нейронных сетей / Б. В. Ширяев, А. Ю. Ющенко, А. В. Безрук // Доклады ТУСУР. – 2019. – Т. 22, № 2. – С. 72–76. DOI: 10.21293/1818-0442-2019-22-2-72-76